PROJEKTTYP
Universelle modulare Steuerungs-Software
TECHNOLOGIE
vb.net, SQL, TwinCAT 2.11
ERBRACHTE DIENSTLEISTUNGEN
Layout Design, Development, Testing
Eine Software flexible wie ein Chamäleon. Designt und erstellt um typische PVD-Anlagen zu steuern. Die Software kann sowohl für Neu-Anlagen als auch als Upgrade für eine beliebige Altanlage genutzt werden.
Die SPS-Software basiert auf der Beckhoffsteuerung CX5100. Unterstützt werden 2 Dreheinheiten, 6 Gasregler, 1 Bias- und Anodenstromversorgung, bis zu 15 Magnetron oder Arc-Stromversorgungen verschiedener Hersteller wie Advanced Energy, Solvix oder Trumpf, 1 Heizfunktion inklusive bis zu 6 Temperatursensoren zur Überwachung oder Regelung. Die Heizung kann per PWM oder Thyristorregler verschiedener Hersteller betrieben werden.
Alle Funktionen, wie auch der Kühlwasserversorgung sind frei konfigurierbar.
Der Rezeptur-Editor unterstützt Drag-and-Drop-Operationen, außerdem 100 Layer, zwischen denen frei gesprungen werden kann und Wiederholungsschleifen sind auch möglich. Innerhalb der Rezeptur können Prozesswerte für die Anpassung durch den Bediener freigegeben werden.
Um den Prozess rückverfolgen zu können, verfügt diese Software über ein umfassendes Datenprotokollierungs- und Batch-Berichtssystem. Dies wird in der Rezeptur vorkonfiguriert und kann damit für jedes Produkt angepasst werden.